Lehrveranstaltungen


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Wahlmodul 2: Plasma- und Dünnschichttechnologie (5 ECTS-AP, 5 SSt.)
Anmeldevoraussetzung: keine
Lernergebnis: Die Studierenden verfügen über grundlegende theoretische und experimentelle Kenntnisse der Plasmaphysik, -diagnose und -technologie, des Umgangs mit den entsprechenden Plasmaapparaturen und plasmatechnologischer Anwendung in Material- und Nanowissenschaften. Sie erlernen die Berechnung funktionaler Dünnschichtsysteme, verschiedene Depositionstechniken und kontrollieren die Materialeigenschaften des von ihnen hergestellten Produktes.
Zur übergeordneten Rubrik
OLAT ML
710613
PR Dünnschichttechnologie, Gasphasenabscheidung (3 Gruppen) (PR / 1h / 1 ECTS-AP)
Christoph Malleier, Laerte Luigi Patera, Simon Penner
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OLAT ML
846404
VU Plasmaanwendungen (VU / 2h / 2,5 ECTS-AP)
Georg Norbert Strauss
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OLAT ML
846405
PR Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten (PR / 2h / 1,5 ECTS-AP)
Nikolaus Weinberger
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Hinweis:
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